SEMI S21 - 作業者保護のための安全ガイドライン -

本基準は、global Environmental Health & Safety Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年2月21日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年10月発行。前版は2007年2月発行。

注意：本書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

本安全ガイドラインは、半導体またはFPD製造装置その付近での作業の実施に際し、健康および安全上の危険から作業者を保護する好ましい方法を特定する。

本安全ガイドラインを定めるのは、作業者が作業現場で遭遇する可能性がある、危険エネルギー、物理的危険、危険化学薬品等の危険に対する保護方法である。

この安全ガイドラインが意図しているのは、半導体またはFPD製造装置あるいはその近くで作業する、すべての作業者を保護するために考慮すべきことを推奨することである。

本安全ガイドラインは、装置サプライヤおよび装置ユーザに適用される、半導体またはFPD製造に関連する活動する、および装置、プロセス開発活動が範囲に含まれるとする。

本安全ガイドラインは以下の項を含みます。

1目的

2範囲

3制限

4参照基準および文書

5用語

6作業者の保護全般

7化学薬品の危険

8危険エネルギーの切離し

9危険電圧しないは危険電気エネルギーに対する活線作業

10放射線、または電磁波、レーザー等を発生する装置

11物理的危険性

12. 保護具

13. 緊急事態への対策と異常事態の管理

SEMI F34 — 液体化学パイプのラベル貼付ガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S19 — 半導体製造装置の設置、保守、およびサービス担当者のトレーニングに関する安全ガイドライン
SEMI S24 — 複数の雇用主がいる作業エリアの安全ガイドライン