SEMI S21 - 人員防護安全基準 -

Abstract

人員防護安全基準目的本安全基準係為提供個人防護の相關建議、人員在半導体又はFPD製造設備上又は附近実行業務時發生安全衛生之危険險

この安全ガイドラインは、世界的な環境衛生安全委員会によって技術的に承認されています。この版は、2006 年 8 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2006 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2003 年 10 月に出版されました。

E この規格は、誤りを修正するために 2007 年 2 月に編集上修正されました。 ¶ 7.2.3 に変更が加えられました。

この安全ガイドラインは、半導体または FPD の製造に使用される装置上またはその周囲で作業を行う人を安全および健康上の危険から保護するための推奨方法を特定します。

SEMI F34 — 液体化学パイプのラベル貼付ガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用される操作および保守マニュアルの安全ガイドライン
SEMI S19 — 半導体製造装置の設置、保守、およびサービス担当者のトレーニングに関する安全ガイドライン

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