SEMI S20 - 危険なエネルギー制御のためのエネルギー分離装置の識別と文書化に関する安全ガイドライン -

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Volume(s): Safety Guidelines
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI S20-0303 (撤回 1108) - 撤回 - 歴史的

リビジョン

Abstract

この規格は、世界的な環境衛生安全委員会によって技術的に承認されました。この版は、2008 年 8 月 29 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2008 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2003 年 3 月に発行されました。

注意: この文書は 2008 年に投票され、撤回が承認されました。

このガイドラインは、ロックアウト/タグアウト (LOTO) に使用されるエネルギー分離装置 (EID) を一意に識別する方法を確立することを目的としています。この識別は、デバイスと、タスクまたは手順でデバイスが参照されているサプライヤー提供のマニュアル内の場所の両方で行われることを目的としています。この文書は、統一されたグラフィック表現と識別システムにより、SEMI S2 (危険エネルギーの隔離に関する) および SEMI S13 (適切な文書の提供に関する) の既存の規定を補足します。この文書は、LOTO EID を操作するための手順を作成するためのガイダンスも提供します。

参照されるSEMI規格

SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用される操作および保守マニュアルの安全ガイドライン

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