SEMI S17 - 無人搬送運車（UTV）系統の安全基準 -

Abstract

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本基準の目的は、無人搬送車（ Unmanned Transport Vehicle、UTV ） 系統の安全考慮量を提供することです。 地上行駛車輛（床上走行車、FTV） 系統と空中走行車輛（天井走行車）を含む 車両、OTV) 系統。

範圍

本基準適用時に無人搬送車及半導体工廠與平面顯示器工廠之無人搬送車系統。

 

本基準担当者は、地上行程と空中行程の無人搬送車及び無人搬送車系統を検討している。 ) 高架式搬送車(OHS) 系統 高架式昇降搬送車(OHT )系統が含まれる。

1.1 

評価系統が本基準に準拠しているかどうかを検討し、軌道、制御盤、電源配電盤、 OHT アップ設備またはOHS 維修空間、およびその他の形式UTV に必要な操作維護設備を含む、 UTV 系統供給業者が提供する総合設備を提供します。

 

本書には次の章節が含まれています：

·     目的

·     範圍

·     制限條件

·     參考標準

·     詞Ⅰ

·     一般規定

·     手冊(マニュアル)

·     建築物媒体

· 人因工程/ 人体工学考量

·     地震防護

· UTV 危険區域之預防受傷設計

·     碰撞保護

·     緊急操作

·     手動操作

·     維護保養

· 與半導体またはFPD 製造設備の自動材料操作設置の媒体

·     保護 UTVが保持する負荷から

·     危険指示

·     危険物質

·     相文書

参照されるSEMI規格

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

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