SEMI S17 - 無人搬送台車（UTV）システムの安全ガイドライン -

Abstract

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SEMI スタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本安全ガイドラインは、無人搬送台車（ UTV ）システムに関する安全への配慮事項をまとめたものである。 UTV システムは、半導体またはフラットパネルディスプレイ（ FPD ）の工場または研究所で材料の移動を自動化するためUTV システムには，床上走行台車（ FTV ： 床上走行） 車両）システムと走行空間台車（ OTV ： 天井走行車）システムの両方が含まれる。

本安全ガイドラインは半導体またはFPD 製造で使用されるUTV およびUTV システムに適用される。

本安全ガイドラインは床上走行と空間走行の両方のUTVおよびUTVシステムを優先。 OTV システムには、空間搬送（ OHS ：オーバーヘッドシャトル）システムや、ホイスト式空間搬送台車（ OHT：オーバーヘッド） ホイスト輸送）システムが含まれる。

本書への適合評価は， UTV およびUTV システムすべてを対象とすべきであり，これにはレール，制御盤，電源盤，メンテナンス/サービス作業スペースからOHTやOHSを移動するリフターなどの他に， UTV の運転、 メンテナンスあるいはサービスに必要なあらゆる装置が含まれる。

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