SEMI S13 - 製造設備使用者文件の安全衛生及び環保基準 -

Abstract

本安全基準之技術業經全球環境、衛生及び安全委員会核標準。 行出版線上版。初版於1998年2月発行行。次版於2005年3月発行行。

この安全基準文書は、製造設備の操作、保護、および風防の低減を支援するために、製造使用者向けの考慮事項（操作、保護、安全および安全ハンドブックなど）を提供します。

凡実行操作、保護、保守、保守、除害、または設備除役の担当者は、すべての給電設備使用者を承認し、関連する作業内容の文書を説明します。

この安全基準の適用範疇には、為生電気、測定量、組込み測定試品が含まれており、提供される使用者向けの文書が含まれています。

本安全基準に含まれる次の項目：

• 目的
• 範圍
• 制限
• 考慮標準および文書
• 詞Ⅰ
• 設備使用者文書の一般標準
• 設備の本質的な危険性
• 危険險エネルギー制御程序
• 危険警告
• 確実な固有の危険性
• 物質安全資料表（ MSDS ）
• 個人防護裝備（ PPE ）
• 設備檢查、消耗材與保養
• 訓練要求
• 聯絡緊急與想變

SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境衛生および安全性ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド
SEMI S26 — FPD製造システムの環境衛生および安全性ガイドライン

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