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SEMI S12 - 設備除污基準 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本安全基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員会核標準。 semi.org発行線上版。本基準原始版本於1998年発行行，2009年3月再版。
本文係為針對危険危険物質環境中における製造設備設置除按基準，利後生產使用。その設備を提供します。
各製造現場全員で本基準、並適検討量地、分野、國家及び國際的理念及び組織政策を採用する。
注意: 本安全基準時を使用し、建議審尋專業人幫忙中。
本安全基準係確保在製造代引設備移動前，雖受制時個別業務情況之限，亍儘最大可能地実行除污作業。譲受人（譲渡人）必須 すべての存在は風通しで明確に受領人（譲受人）に通知されます。
本基準適用時に危険または有毒物質の環境にさらされ、危険な健康または環境に害を及ぼす可能性がある場合、為轉設備または設置場所の変更に伴う準備作業が行われます。 、サンプル表示パッケージ作業。
この基準では、除外ファイル化と相次ぐ危険通知の最低限の要件を示しています。
場所は同じ場所に重複して同じサービス項目の設備を提供し、その評価は個別のシナリオの状況に応じて、現場環安衛（ESH）の段階進行評価によって評価されます。
個別状況下でいくつかの適用上の制限に遭遇しても、本基準確保に伴う除却作業能力は最適なレベルに達しています。
参照されるSEMI規格SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド
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