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SEMI S11 - 半導體製造設備環境微安全及び衛生基準 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
半導体製造設備環境微安全及び衛生基準目的此等基準用於半導体製造微環境之至近度要求，係以環境，衛生和安全等功能為考量之基礎。參見第3.1節）の修正用
これらのガイドラインは、半導体製造で使用されるミニ環境に対する、パフォーマンスに基づいた環境、健康、および安全性に関する最小限の考慮事項として意図されています。これらのガイドラインは、SEMI S2 を補足することを目的としています。これらのガイドラインは、半導体製品の製造、計測、組み立て、テストで使用されるミニ環境に適用されます。ミニエンバイロメントに囲まれた機器、またはミニエンバイロメントと組み合わせて使用される機器は、SEMI S2 によって個別に扱われます。例としては、プロセスツールや排気ガス軽減装置などがあります。 「統合ミニ環境」の場合、ミニ環境エンクロージャ部分のみがこれらのガイドラインで扱われます。
参照されるSEMI規格SEMI S2 — 半導体製造装置の安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学/ヒューマンファクターエンジニアリングの安全ガイドライン
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