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SEMI S9 - SEMI S22へ移行している半導体製造装置の電気設計テストのガイド -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドは、global Environmental, Health, & Safety Committee で技術的に承認されています。現版は2010年12 月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .semiviews.org およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行、前版は2007 年3 月に発行された。
注意: 「注」の表題が付いた段落は、本書の公式的な一部ではなく、また本書の内容の変更や書き換えを意図したものではありません。
本書の目的は、SEMI S9のすべての技術の内容がSEMI S22に組み込まれたことを示し、SEMI S9 が撤回されたことを永続的に告知することである。
第二の目的は、電気設計検証テストがSEMI規格で文書化され、業界で使用されていたという思考な履歴を提供することである。
参照されるSEMI規格SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
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