SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

注意： 本安全ガイドラインで使われる公式な値は，国際単位系（ SI ）によって表示されている。

• インチ－急系で表示されているもの（アメリカ慣習単位系または英単位系としても知られる）
• 括弧でくくられているもの
• SI 単位系に続いて表示されているもの

は，公式ではなく，参考値である。また， SI 値の正確な変換値がない場合もある。

注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全ガイドラインの公式的な一部ではなく，また安全ガイドライン本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。委員会が提供したものである。

本安全ガイドラインは、半導体製造装置の人間工学の設計原則とし、考慮すべき事項を規定する。

本安全ガイドラインの目的は、製造環境以下ユーザと装置の間の融和性を高めるためのものである。 以下に示す一般原則は、人間工学設計および装置評価を行うために必須である。

装置の設計においては、作業を分類することによって安全性を最大限にする設計をすべきである。 さらに、適正な作業の分類は、仕事の効率を高める。

我慢や事故の潜在性を考慮して、ユーザーの期待に沿ったような装置設計をすべきである。

装置設計に関しては、ユーザー集団に対して予測できる体型、体力、動作の特質の範囲に合わせたものとし、疲労および傷害を最小化する設計にすべきである。にする。

このガイドラインは、半導体製造装置設計における、人間工学エンジニアリングの安全性について決めるものである。 ここで注目すべきことは、潜在的な危険を含めて検討するため、いくつかのガイドラインは、人と機械間の作業実行を効果的にするための設計全般の目標について定めている点である。ガイドラインが適用されるものは、半導体製造装置の設計、運用、保守、サービス、および限定された範囲での装置付（ ¶7.3 参照）である。

SEMI E95 — 半導体製造装置のヒューマンインターフェース仕様
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.