SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全ガイドライン -

Abstract

この規格は、環境、健康、安全に関するグローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日と 2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1993 年に出版されました。以前は 2009 年 6 月に出版されました。

注意: この文書への適合を宣言するには、この安全ガイドラインの「すべき」規定への適合が必要です。適合を宣言するために、「可能性がある」、「提案される」、「優先される」、「推奨される」、「注記」、または「関連情報」の規定に適合する必要はありません。

この安全ガイドラインは、半導体製造装置（SME）の排気換気に関する安全性能基準と、その基準への適合性を評価するための試験方法を規定しています。

エネルギー効率とユーザー施設の排気換気設備の物理的制約がより顕著になるにつれて、排気換気の最適化はますます重要になっています。人員、財産、環境を健康と安全のリスクから保護するために、効率的に設計された排気換気を提供する必要があります。この安全ガイドラインの目的は、排気換気の性能と設計の原則、試験方法と基準を提供することです。

この安全ガイドラインは、ユーザー施設の排気換気システムに接続することを目的とした排気換気装置を組み込んだ半導体製造装置に適用されます。

この文書の基準は、人員保護、機器保護、および火災リスク軽減の目的 (全部または一部) のために提供される排気換気システムに適用されるべきです。

この文書の性能および評価基準は、サプライヤーがユーザーに提供するすべての機器、または別のサプライヤーがユーザーに提供する機器の一部として提供されるすべての機器に適用されます。

この文書は、半導体装置サプライヤーが共通の性能基準に従って装置の排気換気システムを設計するのに役立ち、またユーザーとサプライヤーの両方が装置システムの排気換気要件を理解できるように支援することを目的としています。設計仕様を確立することを目的としたものではありません。

SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.