SEMI S6 - 半導体製造装置の排気に関する環境，健康，安全のガイドライン -

Abstract

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SEMI スタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

 

注意： 本ガイドラインの「べきである」という規定に適合することが、本書への適合宣言に必要である。本安全ガイドラインは、半導体製造装置（ SME ）の排気に対する換気安全性能基準、およびこれらの基準への適合性を評価するためのテスト方法を提供する。

 

ユーザファシリティ内の排気換気ユーティリティのエネルギー効率および物理的な観点が考えると、排気換気の最適化がますます重要になってきています。そのために、効率的に設計された排気換気を提供する必要がある。 本安全ガイドラインの目的は、排気換気のための性能および設計原理、またテストする方法およびテスト基準を提供することである。

このガイドラインは、ユーザファシリティの排気換気システムに接続しようとする排気換気を組み込んだ半導体製造装置に適用する。

 

本書の基準は、要員の保護、装置の保護、および火災リスク低減を（その全部または一部の）目的として提供する排気システムに適用されるべきである。

 

本書内の性能および評価基準は、サプライヤがユーザに提供する装置、または他のサプライヤがユーザに提供する装置の一部として、サプライヤが提供する装置のすべてに対して適用する。

 

本書は、半導体製造装置供給ヤが、装置排気換気システムを一般的な一連の性能基準に基づいて設計を支援するとともに、ユーザや供給ヤが装置システムに対する排気要件を理解する手助けとなることを意図している。設計仕様を確立することは意図していない。

 

テスト方法を§ 8 および付属書に記述しています。

 

本書は、サプライヤまたはユーザが採用する危険源評価方法、または危険制御戦略（例、設計原理）に制限を加える事は意図しない。採用してもよい。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド

SEMI S2 — 半導体の環境、健康、安全に関するガイドライン 製造設備

SEMI S14 — 火災リスクの評価と軽減のための安全ガイドライン 半導体製造装置

SEMI S22 — 半導体の電気設計の安全ガイドライン 製造設備

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