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SEMI S5 - ガスの流量制限装置のサイズ設定と識別に関する安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この安全ガイドラインの目的は、 流量制限装置 (FLD) に関連する情報と方法 輸送、保管、使用中の有害ガスの放出速度。
この安全ガイドラインは、有害ガス用の FLD に適用されます。 これらの装置は、制御されない放出の流量を制限することを目的としています。 FLD またはその下流のガス。
この安全ガイドラインは、次の場所で動作する FLD に関係します。 上流の圧力比から生じる臨界流量。 FLD から FLD の下流側の圧力が臨界圧力以上になるまで 比。
この安全ガイドラインは FLD を識別する方法を提供します サイズ別に。
この安全ガイドラインでは、 いくつかのガスのおおよその最大および最小流量とその このような装置を介して混合物を生成します。
この安全ガイドラインでは、 ガスと必要な流量に基づいて、アプリケーションに応じた FLD のサイズを決定します。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置
SEMI S10 — リスク評価とリスクに関する安全ガイドライン 評価プロセス
SEMI S26 — 環境、健康、安全に関するガイドライン FPD製造装置
改訂履歴
SEMI S5-1121 (技術改訂)
SEMI S5-0616 (技術改訂)
SEMI S5-0310 (完全な書き換え)
SEMI S5-0703 (完全な書き直し)
SEMI S5-93 (初版)
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