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SEMI S5 - 氣體鋼瓶限界流裝置寸估量及評価之安全基準 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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この安全基準は、決定的氣身体鋼瓶制限流裝置( FLDs ) 寸及び評価方法、在運輸、利益存、時限制有害氣身体による鋼瓶釋放の速度を提供します。
範圍
この安全基準適用時に有害な氣體鋼瓶FLD 。
この安全基準の適用は、 FLD 上でその下流で生じる少なくとも臨界流量を表します。
この安全基準は、 FLD のサイズを確認できる親切な方法を提供します。
この安全基準は、複数の氣質およびそれらの混合物がFLDs 時最大および最小流速のおよその値を通過する計算方法を提供します。
この安全基準針は氣体と必要な流量を提供するためのFLD の寸法を使用します。
参照されるSEMI規格
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
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