SEMI S5 - ガス用流量制限デバイスのサイズ決定と特定のための安全ガイドライン -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本安全ガイドラインは、Environment Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2015年12月4日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。 2016年6月にwww.semiviews .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行、前版は2010年3月に発行された。

この安全ガイドラインの目的は、危険性ガスの運搬、保管、および使用中における放出速度を制限する流量制限デバイス (FLD)に行う情報および方法を提供するものである。

この安全ガイドラインは、危険性ガスのFLDを目指すものである。 これらのデバイスは、FLDあるいはその下流で、制御されない放出の流量を制限することを意図している。

この安全ガイドラインは、FLD 上流と下流の圧力比（上流圧/下流圧）が臨界圧力比以上であることに留意する臨界流量において作動するFLDを重視するものである。

この安全ガイドラインは、サイズによってFLDを特定する方法を提供する。

この安全ガイドラインは、そのようなデバイスを流れる数の種類のガスおよびその混合物の近似最大および最小流量を行う計算方法を提供する。

この安全ガイドラインは、アプリケーションに使用する FLD のサイズを、使用ガスおよび必要な流量に基づいて選択する方法を提供する。

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.