Japan Store
SEMI S4 - 分配キャビネット内に格納される化学物質シリンダーの分離のための安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本安全ガイドラインは，Global Environmental Health and Safety Committee で技術的に承認されたもので，North American Environmental Health and Safety Committeeが直接責任を負うものである。 委員会にて承認されている。200 4年2 月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、200 4 年3 月発行に続く。 初版は1992 年発行。
注意： 本安全ガイドラインは2003年に全面的に書き換えられました。
本安全ガイドラインで提供するのは、独立したガスキャビネットに格納すべき化学物質のタイプおよびガスキャビネット内に一緒に格納できるシリンダー（ボンベ）を決定するための方法である。
本安全ガイドラインの目的は、半導体関連技術の作業や研究を実行する人々によって使用されることである。
参照されるSEMI規格なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件