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SEMI S4 - 供給櫃內化学品鋼瓶隔離之安全基準 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本準則之技術業經全球環境、衛生及び安全委員会核標準。 3月出版光碟版。初版於1992年発行行。
注意：この安全に立っているときは2003 年に完全に新しく変更されました。
注意：本安全基準中より「註」為標題の段落並非正式安全基準、不得為此修正または取代正式的安全基準。委員会提供註解內容係為方便本安全基準的使用。
注意：委員会產生成この文件の意圖は要依存此基準中「於」執行的規定，而適合使用此基準之要求。
この安全基準は一個の方法を提供する将来決定哪これらの種類的化学鋼瓶雄は隔離されて異氣体利益生存容器櫃內、しかしこれらは一緒に放たれることができます。
この安全基準は設計給半導体相技術作業または研究者の使用です。
此安全基準涉及鋼瓶內因蒸氣壓或使用氣體當作載氣進行傳送而在氣氣身体狀態下被使用的氣體或液體化學品。
この文書の範囲には、容量1000ミクロン以下のすべての種類の鋼製ボトルが含まれています。
この基準の主意圖為想用在氣肉体鋼瓶の使用、供与、研究及び製造過程。
此安全基準提及使用在迫淨化学管路並鋼瓶提供的迫淨氣體。
この安全基準提及供与壓力比101.3千帕(一大氣壓)以下の製程化学術品鋼瓶。
参照されるSEMI規格なし。
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