SEMI S3 - 製程液體加熱系統安全基準 -

Abstract

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備註：本安全基準中より「註」為標題の段落並非正式承認、この修正または代替のための正式な安全基準。

備註：條條文中に「於」の字眼が含まれており、必須要旨この文件一致を示します。完全従順執行。

この安全基準の目的は、作為半導体及び面板工業において、製造中の液体濃度の加熱系統と設計文書との間で、最も基本的な一般的な安全考慮量を提供することである。

この安全基準は、種方式（表1 のような）を提供し、製造液全身加熱系統（ PLHS ）の風險不過過等級「低」の風險（風險等級定義においてSEMI S10 およびSEMI S14 ）の方法を達成しています。という方法、本安全基準並無一定の標準。

此份安全基準為為多常見的製液身体加熱系統（ PLHS ）構造は、一つの安全機能要求規定表を提供します。同時に、這いの安全機能の設計及び成効標準も提供します。 設計および効果標準は、加熱系統の風險を「低」風險等級（定義においてSEMI S10 およびSEMI S14 ）を超えないようにすることができることを意味し、這い安全基準の要求に従っています。

製液全身加熱系統（ PLHS ）設計と統合設計、選択および確認効果による安全機能により、製液加熱設備の風速が「低」風等級を超過しないようにすることができ、この安全基準と同様の効果が将来達成される予定です。 S10 およびSEMI S14 およびこの文書で議論された危険性を考慮してください。

なし。

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