SEMI S2 - 半導体製造装置の環境、健康、および安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインは、業界で認められたガイドラインを提供します。 半導体製造装置。 SEMI S2を使用することで、ユーザーとサプライヤーは次のことが可能になります。 機器、施設、設備に関連する危険を最小限に抑えるための機器を調達および設計する 重傷を負う可能性のある作業環境および従業員 死。第三者評価者もこの安全ガイドラインを使用して評価および評価を行います。 機器がSEMIにリストされている安全プロトコルに準拠しているかどうかを判断する S2.

この安全ガイドラインは、半導体製造装置に対する一連の性能ベースの環境、健康、安全 (EHS) の考慮事項として意図されています。

適用性— この安全ガイドラインは、半導体製品の製造、測定、組み立て、およびテストに使用される装置に適用されます。

セクションごとの要件の優先順位— この安全ガイドラインの異なるセクションの規定間に矛盾がある場合、技術的な問題に具体的に対処するセクションまたはサブセクションが、より一般的なセクションまたはサブセクションよりも優先されます。

　

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F14 — ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S7 — 人材の評価および会社の資格の評価に関する安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S13 — 製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

改訂履歴

SEMI S2-0821 (技術改訂)

SEMI S2-0818Eb (改訂遅れ)

SEMI S2-0818Ea (改訂遅れ)

SEMI S2-0818E (編集改訂版)

SEMI S2-0818 (技術改訂)

SEMI S2-1016b (改訂遅れ)

SEMI S2-1016a (改訂遅れ)

SEMI S2-1016 (技術改訂)

SEMI S2-0715a (改訂遅れ)

SEMI S2-0715 (技術改訂)

SEMI S2-0712d (改訂遅れ)

SEMI S2-0712c (改訂遅れ)

SEMI S2-0712b (改訂遅れ)

SEMI S2-0712a (改訂遅れ)

SEMI S2-0712 (技術改訂)

SEMI S2-0310e (改訂遅れ)

SEMI S2-0310d (改訂遅れ)

SEMI S2-0310c (改訂遅れ)

SEMI S2-0310b (改訂遅れ)

SEMI S2-0310a (改訂遅れ)

SEMI S2-0310 (技術改訂)

SEMI S2-0709 (技術改訂)

SEMI S2-0706e (改訂遅れ)

SEMI S2-0706d (改訂遅れ)

SEMI S2-0706c (改訂遅れ)

SEMI S2-0706b (改訂遅れ)

SEMI S2-0706a (改訂遅れ)

SEMI S2-0706E (編集改訂版)

SEMI S2-0706 (技術改訂)

SEMI S2-0703aE (編集改訂版)

SEMI S2-0703a (改訂遅れ)

SEMI S2-0703 (技術改訂)

SEMI S2-0303 (技術改訂)

SEMI S2-1102 (技術改訂)

SEMI S2-0302 (技術改訂)

SEMI S2-0200E (編集改訂版)

SEMI S2-0200 (完全書き換え)

SEMI S2-93A (技術改訂版)

SEMI S2-93 (技術改訂)

SEMI S2-91 (初公開)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.