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SEMI S2 - 반도체 제조장비에 대한 환경안전보건 가이드라인 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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주의 : 본 한글본은 참고용으로, 영문원본과 한글본간에 차이가 발생할 경우, 영문원본을 우 선으로 해야합니다。 krstandards@semi.org までお問い合わせください。 로 문의바랍니다。
본 안전지침은 국제 環境衛生安全技術委員会에서 승인하였다。 현행 개정판 은 2013 년 6 월 4 일 국제 監査審査小委員会에 의해 간행 허가 를 받았으며, 2013 년 11 월부터 www.semi views.org は www.semi.orgからアクセスできます。 1991年 년에 출판되었으며 이전 판은 2012年 9月9日 출판되었다。
注意: 「注意」 로 표기된 내용은 본 안전지침의 공식적인 내용이 아니며 공식적인 안전지침보다 우 선하여 적용될 수 없다。 유전지침의 보다 유용한 활용을 위해 위원회에 의해 제공된 것이다.
注意: 環境衛生安全技術委員会は、 투표를 거쳐 허가된 내용이다。 延期された改訂セクション1、2、3 が更新されます。 러한 수정사항 은 적용될 항목이 이전 판 문서의 다른 부분과 충돌하지 않고, 아직 욨력을 갖 지 않음을 명기할 경우에 선택적으로 사용가능하다。お知らせをお送りします。
본 안전지침은 반도체 제조 장비 에 대한 성능 기반의 환경, 보건 및 안전(EHS) 을 포괄하는 고 려사항으로 의도된 것이다。
적용성 (適用性)
— 본 안전지침은 반도체 제품을 제조, 측정, 조립하고 테스트하는 데 사용되는 장비에 적용 된다。내용 (コンテンツ)
— 본 문서는 아래 내용을 담고 있다。1. 목적 (目的)
2. 범위 (スコープ)
3. 제한 사항 (制限事項)
4. 참고 문서 (参考資料)
5. 용어 (用語)
6. 안전 철학 (安全理念)
7. 일반 조항 (一般規定)
8. 평가 과정 (評価プロセス)
9. 사용자에게 제공되는 문서 (ユーザーに提供される文書)
10. 위험 경고 라벨 (危険警告ラベル)
11. 안전 인터록 (セーフティインターロックシステム)
12. 비상 정지 (緊急停止)
13. 전기 설계 (電気設計)
14. 소방 (防火)
15. 가열된 화학물질 용기 (加熱化学浴)
16. 인간공학 및 인적 요소 (人間工学/ヒューマンファクター)
17. 위험 에너지 격리 (危険エネルギー隔離)
18. 기계 설계 (機械設計)
19. 지진 보호 (地震対策)
20. 자동 물질 핸들러 (自動マテリアル ハンドラー)
21. 환경적 고려사항 (環境への配慮)
22. 배출 환기 (排気換気)
23. 화학 물질 (化学品)
24. 전리 방사선 (電離放射線)
25. 비전리 방사선 과 방사선 영역 (非電離放射線と電界)
26. 레이저 (レーザー)
27. 음압 레벨 (音圧レベル)
28. 관련 문서
付録 1 – 액체 화학물질 사용 장비의 설계지침 (液体化学薬品を使用する装置の設計ガイドライン)
付録 2 – 전리 방사선 테스트 평가 (電離放射線試験の検証)
付録 3 – 비전리 방사선( 레이저 포함) 과 전자기장 영역의 테스트 방법 과 노출 기준 (非電離性放射線の暴露基準と試験方法)イオン（レーザー以外）および電磁場）
付録 4 – 소방: 시공자재 선정을 위한 플로우 차트 (防火: 建築材料を選択するためのフローチャート)
付録 5 – 레이저 데이터 시트 – SEMI S2 (レーザー データシート – SEMI S2)
제시된 소요 항목의 우선 순위 기준
— 본 안전지침의 내용들간에 차이 가 있는 경우, 기술적인 문제를 기술한 섹션이 일반적인 내용을 기술한 섹션보다 우선한다。 参照されるSEMI規格SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F14 — ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI F15 —エンクロージャのテスト方法 (SF 6トレーサーガス)がSEMI S6 に移行されました
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S7 — 半導体製造装置の環境、安全、健康 (ESH) 評価に関する安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学の安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
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