SEMI S2 - 半導体製造設備安全衛生及び環保基準 -

Abstract

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注意：標示「 註」 の章節並ではなく、この安全基準の正式條文、および沒慮圖要修正または取代正式標準または安全基準。

本安全基準設計は機能性為基礎的半導体製造設備の環保、健康及び安全基準を考慮して設置されています。

適用性— 本基準医用における製造、量測定、封裝及び測定試用半導体電気品の設備。

各章節要求の優先順位 —本基準各章節間の條款に抵触する場合には、則特定技術問題の主次章節を優先して一般概要性の主章節を提出する。

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F14 — ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S7 — 人材の評価および会社の資格の評価に関する安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S13 — 製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

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