SEMI S2 - 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン -

Abstract

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本安全ガイドラインは、半導体製造装置で実現すべき、一連の環境、健康、安全（environment, health and safety ( EHS ) ）上の性能基準を提供する。

適用 — 本安全ガイドラインは、半導体製品の製造、測定、組立て、およびテストに使用される装置に適用される。

条項の優先順位 — 本安全ガイドラインの複数セクションの規定が相互に矛盾する場合は、当該技術問題を特定して集中セクションが、より一般的な他のセクションに優先する。

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F14 — ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI F15 — エンクロージャのテスト方法 (SF6 トレーサーガス) が SEMI S6 に移行されました
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S7 — 半導体製造装置の環境、安全、健康 (ESH) 評価に関する安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

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