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SEMI PV97 - ポリシリコン製造に使用されるシリコンパウダーの仕様 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
シリコンパウダーは重要な原料です。 ポリシリコンの製造、トリクロロシランの合成に使用されます。 四塩化ケイ素のヒドロシリル化。シリコンパウダーの品質は、 トリクロロシランの品質に直接影響します。
ポリシリコン製造技術の向上により、 ポリシリコン製品の品質はますます高くなっており、 シリコンパウダーの品質に対する要求も高まっており、 より高い。
この仕様は、ポリシリコン製造業者に次のことをガイドするものです。 より高品質の原材料を入手します。
この仕様書は分類とテストを指定します。 ポリシリコン製造用のシリコン粉末の方法。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI PV59 — 総炭素を測定するための試験方法 炉内燃焼後の赤外線吸収によるシリコンパウダー中の含有量 誘導炉
SEMI PV64 — B、P、Fe、Al、Ca 含有量を測定するための試験方法 誘導結合プラズマ発光による太陽光発電用途向けのシリコン粉末 分光分析
改訂履歴
SEMI PV97-1220 (初版)
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