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SEMI PV91 - ポリシリコン製造に使用されるトリクロロシランの仕様 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
の この文書の目的は、さまざまなグレードの仕様を提供することです。 トリクロロシラン で使用されている ポリシリコン産業。
と
太陽光発電市場の成長、顧客の要求する品質
ポリシリコンは非常に優れています 高い。 トリクロロシラン ポリシリコン製造の重要な原材料の 1 つです。
の
不純物含有量 トリクロロシラン ～の品質に直接影響を与える可能性があります
ポリシリコン。トリクロロシランの規格 は に
生産工場がより高品質の材料を入手できるように導きます。
この文書は、トリクロロシランのすべてのグレードの要件をカバーしています。 ポリシリコン製造業界で使用されます。
もしも 分析方法が不完全であり、要件は次のように提示されています。 ガイドライン。
参照されるSEMI規格
SEMI C10 –– メソッドの検出限界を決定するためのガイド
SEMI C28 –– 仕様 フッ化水素酸のガイド
SEMI C35 –– 硝酸の仕様とガイド
SEMI MF1630 –– テスト 単結晶シリコンの III-V 族不純物の低温 FT-IR 分析方法
SEMI MF1723 –– 実践 フロートゾーン結晶成長による多結晶シリコンロッドの評価と 分光法
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