SEMI PV90 - 単結晶シリコン成長装置で使用される内部フィーダーの材料要件に関するガイド -

Abstract

1 目的

1.1 内部フィーダーは、 追加の多結晶シリコンを結晶のるつぼに装填すること 満杯を維持しながら、補充または再充電の目的で栽培する 炉の真空と温度条件。

1.2内部フィーダーは、 単結晶シリコンを成長させるために太陽光発電産業で広く使用されています。 供給プロセス中、高純度多結晶シリコンは近くにあります。 フィーダーの部品と接触します。したがって、使用されている材料は、 内部フィーダーの構造により多結晶が汚染される可能性があります シリコンが損傷し、シリコン結晶の品質に悪影響を及ぼします。

1.3内部フィーダーは次の場所で動作します。 高温環境。建設資材はメンテナンスが必要です このような環境下でも十分な機械的強度が得られます。

1.4多くの材料サプライヤー、 半導体デバイスメーカー、装置メーカー、水晶メーカーは 内部フィーダーの製造と活用に携わっています。したがって、 製品の品質を保証するには、材料要件のガイドが必要です。

1.5 この目的 技術ガイドは、以下に関するベストプラクティスの推奨事項を作成することです。 内部フィーダーの構築に使用される材料を使用して、フィーダーが を最小限に抑えながら、困難な作業環境でも優れたパフォーマンスを発揮します。 多結晶シリコン材料への汚染ｌ．

2 適用範囲

2.1このガイドの内容は、 単結晶シリコンを成長させるために使用される内部フィーダー 太陽光発電産業。

2.2このガイドでは、 シリコン溶融物に移動する可能性がある不純物レベル 内部フィーダに使用されるさまざまな建材。また、 内部フィーダに適切な建設材料を選択するためのガイダンス。

2.3このガイドでは、 多結晶シリコンに通常見られる不純物であり、簡単に説明します。 これらの不純物が完成した太陽電池に与える影響。

2.4このガイドでは次のことについても説明しています 内部フィーダーの異なる温度領域と温度 各地域で使用される材料の制限。

セミ PV17 — 太陽光発電用のバージンシリコン原料の仕様 アプリケーション

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