SEMI PV88 - 不活性ガス溶融外部吸収法による光伏多結晶硅中の酸素含有量の測定方法 -

Abstract

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光ポリシリコンは、ポリ結晶シリコンの製造プロセスの安全性とポリシリコンの製品に影響を与える可能性のある酸素を含有しており、一方、多結晶シリコンの製品は、その後の太結晶シリコンエネルギーの光電圧製品の特性および性能と密接に関連している。氢含有量この評価方法は、世界中の実験室の間で得られた比較可能性があり、発光ポリ結晶および他の発光ダイオード材料の質量制御に使用することができる。

この分析方法は、流動床プロセスで生成される粒子状ポリ結晶、光電圧ポリ結晶シート、および光ブロックなどの様々な種類の光電圧ポリ結晶中の酸素含有量を分析するのに適している。

 

この測定方法は、同じ材料ベースおよびデバイスに基づいて、光電圧単結晶シリコン、半導体単結晶シリコンおよび半導体多結晶シリコンを含む他のシリコン材料中の酸素含有量を測定するために使用することもできる。

 

この分析方法は、不活性ガスの溶融原理に基づいて、外部検出器測定技術の商業的ガス分析を使用する。

 

この方法の測定範囲は、各通貨分析の測定範囲に依存し、質量分率（ ％、 ｍ／ｍ ）で表される測定範囲は、サンプルの量の違いにより異なる。商業ガス分析、第一商業ガス分析の測定範囲は、窒素量0.0001 mg ～ 2.5 mg （すなわち、称取1） g 品の測定範囲は質量分数0.00001% ( m/m ) ～ 0.2500% ( m/m ) 、つまり0.15 g 品の測定範囲は質量分数0.00007% ( m/m ) ～ 1.666% ( m/m ) です。 ） ）；第二項ガス分析の測定範囲は、水素量0.0001 mg ～ 1.0 mg （すなわち、称取1） g 品の測定範囲は質量分数0.00001% ( m/m ) ～ 0.1000% ( m/m ) 、つまり0.15 g 品の測定範囲は質量分数0.00007% ( m/m ) ～ 0.666% ( m/m ) です。 ) ）；第三通貨分析の測定範囲は水量0.00008です。 mg ～ 2.5 mg （すなわち、称取1） g 品の測定範囲は質量分数0.000008% ( m/m ) ～ 0.2500% ( m/m ) 、つまり0.15 g 品の測定範囲は質量分数0.00006% ( m/m ) ～ 1.666% ( m/m ) です。 ） ）。

 

多結晶の粉末、粒子、粒子、単結晶のシート、単結晶の棒、および多結晶のシート、多結晶のブロックなどを含む、さまざまな物理的形状の石サンプルを分析するのに適している。

 

この酸素含有量測定方法は、任意の種類および濃度の添加剤を分析するのに適している。

 

参照されるSEMI規格

SEMI PV17 — 光伏行业の硅原料范

セミPV22 — 太阳能電池用硅片规范

セミPV43 — 不活性ガス溶融外部検査法光伏硅材料を用いた硅太阳能電池における酸素含有量の測定方法

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