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SEMI PV64 - 誘導結合プラズマ発光分析による PV 用途のシリコン粉末中の B、P、Fe、Al、Ca 含有量を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
塩酸処理は、次の製品を製造するための重要なプロセスです。 ポリシリコン。塩酸処理ではシリコンパウダーを大量に消費します。の シリコン粉末中のB、P、Fe、Al、Caの含有量は、シリコン粉末の純度レベルに影響を与える可能性があります。 トリクロロシランが大量に生成されました。したがって、 シリコン粉末中のB、P、Fe、Al、Caの含有量を測定する方法。
このテスト方法は、プロトコルと モニタリングまたは認定に使用される世界中の研究所間でのテスト結果 B、 シリコン粉末中のP、Fe、Al、Ca。
この規格は、シリコン粉末中のB、P、Fe、Al、Ca含有量を誘導的に測定するための試験方法を規定しています。 結合プラズマ発光分光分析法 (ICP-OES)。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C10 — 検出方法の決定に関するガイド 限界
SEMI C28 –– フッ化水素酸の仕様
SEMI C35 –– 硝酸の仕様とガイドライン
SEMI PV17 — バージンシリコン原料の仕様 太陽光発電用途向けの材料
SEMI PV49 –– 元素測定の試験方法 シリコン太陽電池用シリコン原料中のバルク別不純物濃度 消化、誘導結合プラズマ質量分析
改訂履歴
SEMI PV64-0714 (再承認 0121)
SEMI PV64-0715 (初公開)
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