Japan Store
SEMI PV53 - 横型拡散炉のフラット温度ゾーンのインラインモニタリングの試験方法 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書では、フラット温度の試験方法について説明します。 試験原理、試験を含む横型拡散炉内のゾーン デバイス、環境、テスト手順、フラット温度の計算 ゾーン。
この試験方法は平坦な温度ゾーンの試験に使用されます 横型拡散炉にて。横型PECVD装置、横型真空 焼鈍炉、横型合金炉、その他同様の設備を使用できます。 参照によって実装することもできます。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI PV53-0514 (再承認 1220)
SEMI PV53-0514 (初公開)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件