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SEMI PV41 - 容量性プローブを使用した、PV アプリケーション用シリコンウェーハの厚さおよび厚さ変動のインライン非接触測定の試験方法 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
ウェハの厚さとウェハ全体のばらつきは、太陽電池製造にとって重要なパラメータです。ロット内でのウェハごと、またはウェハ内での厚さの過度の変動は、プロセスの歩留まりや太陽電池の効率に悪影響を与える可能性があります。
どちらのパラメータも太陽電池ウェーハ (SEMI PV22) の仕様の一部であり、厚さの範囲と総厚さの変動 (TTV) の上限を定義します。
さらに、ウェーハや太陽電池の製造中のウェーハの厚さと変動を注意深くプロセス管理し、品質管理するには、PV 用途のウェーハの供給者だけでなく、そのようなウェーハのユーザーも厚さを継続的に監視する必要があります。
したがって、ウェハの仕様に関してビジネスパートナー間の合意を確立するには、厚さとその変動に関する再現可能なデータを提供する標準化されたテスト方法が必要です。
この文書は、容量性プローブを使用してウェーハの厚さとその全体の変動を測定するための非接触で高スループットのインライン方法を定義しています。
参照されるSEMI規格
SEMI E89 — 測定システム分析 (MSA) のガイド
SEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語
SEMI MF1569 — 半導体技術のコンセンサス参考資料作成のためのガイド
セミ PV22 — 太陽光発電セルとして使用するシリコンウェーハの仕様
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