SEMI PV29 - 二次元マトリックスシンボルを使用した PV シリコンウェーハの前面マーキングの仕様 -

Abstract

この規格は、太陽光発電 – オートメーション グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 12 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2012 年 2 月に出版されました。

この仕様では、読み取りの成功確率を高めるために、グリッド線が遮られる可能性を排除した 2 次元マトリックス シンボルの位置とサイズを定義します。

この仕様は、人為的な読み取りの可能性と成功の可能性を向上させるために、シリアル英数字マーキングを補足する 2 次元マトリックス シンボルの位置を定義します。指が二次元コードをブロックした場合、代わりに英数字コードが機能するため、規格の適用範囲がさらに広がります。

二次元および英数字コードの位置を変更すると、ウェーハ中心のコードがセルの能力に及ぼす悪影響を軽減できます。

この仕様では、読み取りの成功確率を高めるための読み取りウィンドウを定義します。

シリコンウェーハと太陽電池の製造における品質とプロセス管理の前提条件は、個々のウェーハのトレーサビリティと追跡能力です。

現在の仕様では、太陽電池と太陽電池モジュールの製造プロセスチェーンおよびその完全なライフサイクル全体を通じてウェーハを一意に識別できるデータマトリックスコード（DMC）を含むマークを定義しています。

指定されたマークは簡単に貼り付けて読み取ることができ、太陽電池およびモジュールの製造工程全体にわたって安定するように設計されています。このタイプのレーザーマークによるウェハの破損の増加や太陽電池の効率の低下などの悪影響は、多数のウェハや太陽電池に対して行われた慎重な調査では発見されていません。このマークはウエハの位置姿勢には依存しない。

マークは、半導体業界でウェーハの追跡および追跡を識別するために広く使用されています。したがって、マークを付けたり読み取るための機器は簡単に入手できます。

独自のウェーハマークのさらなる利点は、詐欺、盗難、および偽造に対するウェーハおよび太陽電池の生産者およびユーザーに対する製品の安全性です。

この仕様書は、識別コード、幾何学的および空間的関係および識別コードの内容（補足された連続英数字コード）を対象とします。この仕様では、太陽光発電用途の正方形または擬似正方形の単結晶シリコンおよび多結晶シリコンウェーハのマーキングについて、識別コードが機械可読（特に二次元マトリックスコード）かつ人間可読（特にシリアル英数字コード）であることを要求しています。

SEMI M12 — ウェーハ前面のシリアル英数字マーキングの仕様
SEMI MF728 — 寸法測定用の光学顕微鏡の準備の実践

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