

SEMI PV21 - 太陽光発電アプリケーションで使用されるシラン (SiH4) のガイド -
Abstract
この規格は、太陽光発電 – 材料グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 10 月に出版されました。
この文書は、太陽光発電産業で使用されるシラン (SiH 4 ) の推奨される最大不純物レベルを提供します。
この文書は「供給されたままの」製品について言及しています。使用目的ではありません。その品質は、ガス源から得られる固体の「堆積層」として指定されていない限り、供給者とユーザーの間で合意された納品時点で気相で決定されます。
この文書はガイドであり、完全な分析方法は含まれていません。不純物を測定するために利用できる技術の一部を § 7 に示します。
参照されるSEMI規格SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド
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PV02100 - SEMI PV21 - 太陽光発電アプリケーションで使用されるシラン (SiH4) のガイド
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