SEMI PV21 - 太陽光発電アプリケーションで使用されるシラン (SiH4) のガイド -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Photovoltaic
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI PV21-1016 - 現在

リビジョン

Abstract

この規格は、太陽光発電 – 材料グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 10 月に出版されました。

この文書は、太陽光発電産業で使用されるシラン (SiH 4 ) の推奨される最大不純物レベルを提供します。

この文書は「供給されたままの」製品について言及しています。使用目的ではありません。その品質は、ガス源から得られる固体の「堆積層」として指定されていない限り、供給者とユーザーの間で合意された納品時点で気相で決定されます。

この文書はガイドであり、完全な分析方法は含まれていません。不純物を測定するために利用できる技術の一部を § 7 に示します。

参照されるSEMI規格

SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド


Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.