
SEMI PV15 - 太陽電池材料の表面ラフネスおよびテクスチャを監視するための角度分解光散乱測定条件に関する定義ガイド -
Abstract
本基準は、global Photovoltaics Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年12月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となります。
太陽電池産業において用いられる多くの表面は,光吸収を最適化して太陽電池効率を最大限に高めるためにテクスチャ加工される。重要であるため、単一のラフネス、グロス、またはヘイズ仕様では明確に定義されない。
集光角(またはいくつかの個々の角度)の範囲を超えて光散乱を測定することは,高速かつ経済的な監視手段となるが,ラフネス周波数の範囲を超えるテクスチャを定量化することはできない。では,入射角,散乱角,光発言,会話,スポットサイズなどのさまざまな自由度があるため,比較可能な測定結果を得られるようにまず関係者の間で合意する必要がある。 ,測定パラメータを一意的に定義し、関係者間で簡単に交換できるようにするための手段が必要である。
本ガイドでは、表面テクスチャの違いにより散乱パターンの変化を測定する可能性があるための散乱測定条件の定義に必要な用語を定める。 ,あるいは実施すべき測定の決定は意図していない。
参照されるSEMI規格SEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語
SEMI ME1392 — 鏡面または拡散面での角度分解光学散乱測定のガイド
SEMI MF1048 — 反射全積分散乱を測定するための試験方法
SEMI MF1811 — 表面プロファイルデータからパワースペクトル密度関数および関連仕上げパラメータを推定するためのガイド
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