SEMI PV3 - 太陽電池の加工に使用される高純度水のガイド -

Abstract

この規格は、太陽光発電 - 材料グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は2010年3月に出版されました。

このガイドは複数の目的で提供されています。これは、新しい高純度水 (HPW) 機器を購入する際の性能基準を確立するための基礎として使用できます。また、施設エンジニアが HPW システムの動作のためのプロセス制御パラメータを設定するために内部的に使用することもできます。このガイドは、プロセス エンジニアが施設から供給される HPW の品質についての合理的な期待を確立するために使用できます。

水は、太陽電池の製造および関連する製造において、基板ウェーハやパネルのすすぎなどのすべての湿式処理ステップで広範囲に使用されます。 HPW は通常、逆浸透/脱イオン樹脂ベッド技術を使用してこの目的のために製造されます。水の品質はデバイスの歩留まりに影響を与えます。時間の経過とともに太陽電池が変化するにつれて、より高純度の水の要件が増加する可能性があります。

このガイドラインは、太陽光発電製造用に製造される HPW を対象としています。

このガイドラインでは、一般的な太陽光発電製造施設と重要な製造ツールの両方が考慮されています。

水質仕様の場所は、HPW 配電側の製造ツールの接続点 (POC) である使用点 (POU) で定義されます。

SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.