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SEMI P46 - XMLによるフォトマスクのCD計測情報データの仕様 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で200 6年5月16日に発行が承認された。 ， そして2006年7 月にCD-ROM で入手可能となりました。
このXMLデータ構造の規格は，フォトマスクのレンズ寸法（ CD ）測定装置で使用する共通の入出力フォーマットを定義している。
この標準化されたデータ構造を備える装置供給ヤは、特定のソフトウェアおよびハードウェアに依存する一方送信と受信ができるようにする。
参照されるSEMI規格SEMI P10 — フォトマスク注文のデータ構造の仕様
SEMI P41 — 欠陥検査ツール、修復ツール、レビューツール間でのXmlによるマスク欠陥データ処理の仕様
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