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SEMI P45 - マスク ツールのジョブ デック データ形式の仕様 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書は、共通の職務資料データ形式を定義します。 マスクツール「MALY」の仕様。
MALY仕様はマスクの入力データ形式に適用されます ツール。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI P39 — OASIS® の仕様 – Open Artwork System Interchange 標準
SEMI P44 — オープンアートワークシステムの仕様 マスクツールに特有の交換規格 (OASIS®)
改訂履歴
SEMI P45-0421 (技術改訂)
SEMI P45-1218 (技術改訂)
SEMI P45-0211 (技術改訂)
SEMI P45-0708 (技術改訂)
SEMI P45-0306 (初公開)
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