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SEMI P44 - マスク ツールに固有の Open Artwork System Interchange Standard (OASIS ®) の仕様 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、マイクロパターニング グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能です。初版発行は 2005 年 11 月。以前は 2016 年 3 月に出版されました。
この文書は、マスク ツール用の OASIS に基づく共通のマスク データ形式仕様、すなわち「OASIS.MASK」を定義します。
OASIS.MASK 仕様は、マスク ツールの入力データ形式に適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI P39 — OASIS ®の仕様 – Open Artwork System Interchange Standard
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