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SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡（CD-SEM）用倍率標準試料のガイド -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Micropatterning Committee で技術的に承認されている。現版は2008年8月29日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2008年11月にCD- ROMで入手可能となりました。 初版は2006年6月に発行され、前版は2008 年3 月に発行されました。
このガイドの目的は、 (1)測長走査型電子顕微鏡（ CD-SEM ）の倍率補正に用いられる倍率標準試料の共通かつ重要な仕様を規定し、その結果として、 (2) 誰にとっても使い使いやすい倍率標準試料を提供することである。
参照されるSEMI規格
なし。
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