SEMI P32 - フォトレジスト中の微量金属を測定するための試験方法 -

Abstract

この試験方法は世界マイクロパターニング委員会によって技術的に承認されており、日本のマイクロパターニング委員会が直接責任を負っています。最新版は、2004 年 7 月 23 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2004 年 8 月に www.semi.org で入手可能でした。 2004 年 11 月に出版予定。初版は 1998 年 9 月に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、微量金属濃度の定量分析法の概要を説明したものです。この規格は、ユーザーとサプライヤー間のコミュニケーションを促進することを目的としています。

この文書は、原子吸光分析、プラズマイオン源質量分析、誘導結合プラズマ原子発光分析などの機器技術によるフォトレジスト中の微量金属濃度 (ppb レベル) の測定に適用されます。

今回の測定対象金属はAl、Ca、Cr、Cu、Fe、Mg、Mn、Ni、K、Naです。

追加の金属または少数の金属をユーザーとサプライヤーの間で合意することができ、測定リストに追加されます。

以下の方法は、対象となる微量金属のそれぞれについて指定された値で微量金属不純物を測定する際に満足のいく結果をもたらしました。仕様値の半分について、既知のサンプルスパイクの 75% ～ 125% の回収率が適切な研究で実証されている限り、代替の方法または条件を使用することができます。結果は仕様内 (特定の値未満) または仕様内のみ (SEMI C1) として報告される必要があります。

SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.