SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の目録発行の実施要領 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので、Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年7月23日Japanese Regional Standard Committeeにて承認されている。年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、 2004年11月発行に至る。初版は1997年発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本実施の本質の目的は、寸法走査型電子顕微鏡（ CD-SEM ）に記載される用語をする定義である。

本書は，ユーザと供給ヤマ共通の無視のために計画されるものである。

本実施の要領は， CD-SEMの目録に記載される用語に適用される。

本実施要領はまた，概算及び購入仕様書に記載される用語にも適用される。

なし。

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