P02900 - SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様

SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様 -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI P29-1105 - 置き換えられました

リビジョン

Abstract

本仕様は、global Micropatterning Committee で技術的に承認されている。現版は2005年9 月8日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2005年11 月にCD-ROM で入手可能となりました。 初版は1997 年9 月に発行されました。

注意： 本書は2005 年に全面的に改訂されたものです。

 

本仕様は、減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク；以下略）およびマスクブランクスに特有な特性について記載する。

参照されるSEMI規格

SEMI P1 — 硬質表面フォトマスク基板の仕様
SEMI P22 — フォトマスクの欠陥分類とサイズ定義のガイドライン

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