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SEMI P26 - フォトレジスト感度測定用パラメータチェックリスト -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このチェックリストは世界マイクロパターニング委員会によって技術的に承認されており、日本のマイクロパターニング委員会が直接責任を負います。最新版は、2003 年 4 月 28 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2003 年 6 月に www.semi.org で入手可能でした。 2003 年 7 月に出版予定。初版は 1996 年に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
このチェックリストは、フォトレジストの供給者と使用者間のばらつきを避けるために、フォトレジストの感度を測定するためのパラメーターを特定します。
このガイドラインの対象となるレジストはポジ型フォトレジストです。
レジストの供給者と使用者との間の協議では、各パラメータの定量的な値を提供する必要があります。
参照されるSEMI規格SEMI P27 — 基板上のレジスト厚さ測定のパラメータチェックリスト
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