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SEMI P19 - 蓄積回路製造用メトロロジパターンセル -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Micropatterning Committee で技術的に承認されている。現版は2007年4月25日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 ，そして2007年7月にCD-ROM で入手可能となりました。初版は1992年発行、前版は1996 年に発行されました。
本スタンダードは，集積回路製造に使用されるマイクロパターニング装置，メトロロジ用器具およびプロセスに対して，量産適用可能な評価およびテスト方法を提供するために，一部の標準パターンを規定するものである。
参照されるSEMI規格SEMI P24 — CD 計測手順
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