SEMI P17 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト・金属イオンフリー（MIF）における鉄、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、銅、ホウ素、アルミニウム、クロム、マンガン、およびニッケルの測定 -

Abstract

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本基準は、Resist Committeeで技術的に承認されたもので、North American Microlithography Committeeが直接責任を負うものである。現版は1998年10月にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。年2月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、1999年2月発行に至る。初版は1992年発行、前版は1996年発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この手順は，フォトレジストMIF漂白液における鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，およびニッケルを測定するためのICPプラズマ放射分析である。ママーは，元素および装置による。

なし。

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