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SEMI P13 - 原子吸光分光法によるポジ型フォトレジスト中のナトリウムとカリウムの測定 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界マイクロパターニング委員会によって技術的に承認されており、北米マイクロパターニング委員会が直接責任を負っています。最新版は、2004 年 7 月 11 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2004 年 9 月に www.semi.org で入手可能でした。 2004 年 11 月に出版予定。初版は 1991 年に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この手順は、フォトレジスト中のナトリウムおよびカリウムを分析するためのフレーム原子吸光分析法です。適用濃度範囲はサンプルを 1 ～ 4 倍に希釈した場合、0.1 ～ 1 ppm です。 4 つの研究室間のラウンドロビン分析では、精度は 0.1 ppm 以内であることがわかりました。
参照されるSEMI規格なし。
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