SEMI P13 - 吸原子光分光法によるポジティブフォトレジスト中における最大とカリウムの測定 -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので、North American Microlithography Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年7月11日North American Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2004年11月発行に続く。初版は1991年発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この手順は，フォトレジスト中における安全及びカリウムの分析のためのフレーム原子吸光分析法である。は4つの研究所の中の持ちまわり分析において，0.1 ppm以内であることがわかっている。

なし。

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