P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法 (ICP) によるポジ型フォトレジスト中の鉄、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、銅、ホウ素、アルミニウム、クロム、マンガン、ニッケルの定量

SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法 (ICP) によるポジ型フォトレジスト中の鉄、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、銅、ホウ素、アルミニウム、クロム、マンガン、ニッケルの定量 -

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Volume(s): Microlithography
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI P12-0997 - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

　

この手順は、フォトレジスト中の鉄、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、銅、ホウ素、アルミニウム、クロム、マンガン、ニッケルを測定するための ICP プラズマ発光分析です。適用可能な濃度範囲は、サンプルを 1 ～ 4 に希釈した場合、0.1 ～ 1 ppm です。精度は、4 つの研究室間のラウンドロビン分析で 0.1 ppm 以内であることがわかりました。

参照されるSEMI規格

なし。

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