Japan Store
SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、銅、ホウ素、アルミニウム、クロム、マンガン、及びニッケルの測定 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この手順は、フォトレジスト中の鉄、亜鉛、カルシウム、マグネシウム、銅、ホウ素、アルミニウム、クロム、マンガン、及びニッケルを測定するためのICPプラズマ発光である。 に安全された場合，0.1から1 ppmである。精度は4つの研究所の間の持ち回り分析において0.1 ppm以内であることがわかっている。
参照されるSEMI規格なし。
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件