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SEMI P11 - アルカリ現像液の完全な正規性を判定するための試験方法 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 12 月 20 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2008 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1991 年に出版されました。以前は 1997 年 9 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書の目的は、アルカリ現像液の完全な規定性を決定するための試験方法を提供することです。
単一または複数の変曲点に対する酸塩基電位差滴定は、滴定剤として標準化塩酸を使用する自動記録滴定装置で実行されます。次に、得られたデータを使用して滴定装置によって規定度 (meq/mL) が計算されます。
参照されるSEMI規格なし。
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