SEMI P11 - アルカリ揮発性溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI P11-0308 - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項: このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

本基準は、global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年12月20日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年2月にwww.semi.org初版は1991年発行、前版は1997年9月に発行されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書の目的は、アルカリ対応溶液に対する全規定の測定の試験方法を提供することである。

単一または複数の変曲点に対する電位差計による酸アルカリの滴定は,点滴剤として標準化された塩酸を使用して,自動記録滴定器により達成される。得られたデータを使用して計算される。

参照されるSEMI規格

なし。

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