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SEMI P7 - 粘度測定の試験方法、方法 A - 動粘度 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、マイクロパターニング グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1982 年に出版されました。以前は 2003 年 11 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この手順では、フォトレジストの動粘度を決定する方法について説明します。
ASTM D445 および ASTM F66 の簡易版であるこの方法は、一定温度で校正されたガラス毛管を重力で一定量の液体が流れる時間を測定することにより、フォトレジストの動粘度を決定することを目的としています。流出時間は秒単位で測定され、粘度計の校正定数を乗じてセンチストークス (cSt) 単位の動粘度を求めます。オプションで、動粘度にフォトレジストの密度を掛けて、センチポアズ (cP) 単位の動粘度を得ることができます。追加情報と定義については、ASTM D445 および ASTM F66 を参照してください。
参照されるSEMI規格なし。
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